铝酸锂单晶与氮化镓的晶格失配率非常小（铝酸锂为1.4%）而成为氮化镓薄膜的优质基片。
铝酸锂(LiAlO2)单晶基片主要性能参数
晶体结构 | 四方 |
晶格常数 | a=5.17 A c=6.26 A |
熔点（℃） | 1900 |
密度 | 2.62（g/cm3） |
硬度 | 7.5（mohs） |
与GaN失配率<001> | 1.4% |
尺寸 | 10x3，10x5，10x10，15x15，，20x15，20x20，Ф15,Ф20，Ф1″，Ф2″,Ф2.6″ |
厚度 | 0.5mm，1.0mm |
抛光 | 单面或双面 |
晶向 | ＜100＞ ＜001> |
晶面定向精度: | ±0.5° |
边缘定向精度: | 2°（特殊要求可达1°以内） |
斜切晶片 | 可按特定需求，加工边缘取向的晶面按特定角度倾斜（倾斜角1°－45°）的晶片 |
Ra: | ≤5Å（5µm×5µm） |
包装 | 100级洁净袋，1000级超净室 |
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